Technique relative à la création des circuits integres et relative à l'étape où les motifs du circuit intégré sont imprimés sur la plaquette. Il existe diverses méthodes de lithographie :

• Photolithographies en proximité et en contact
• Photolithographie par projection
• Photolithographie par rayon X
• Lithographie UV extrême (EUV)
• Lithographie électronique de projection
• Lithographie ionique de projection
• Lithographie par faisceaux d’électrons
• La lithographie par faisceau d’ions focalisés (FIB)